第50章 手搓 EUV 光刻机的可行性 (第2/3页)
光源技术、微缩投影光学系统、EUV多层膜技术、光学加工与检测系统、掩模照明光学系统、反射式掩模技术、抗蚀剂技术、精密工件台技术。
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